Electrical methods for MEMS and NEMS deflection measurements
Politechnika Wrocławska. Wydział Elektroniki, Fotoniki i Mikosystemów
Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)
Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku
Jan 10, 2024
Jan 10, 2024
108
https://dbc.wroc.pl./publication/164135
Edition name | Date |
---|---|
Elektryczne metody pomiarów wychyleń układów MEMS i NEMS | Jan 10, 2024 |
Chabowski, Konrad Andrzej Nitsch, Karol. Promotor
Moroń, Zbigniew
Wnukowska, Bogumiła Budka, Jan. Redakcja
Ćmielewski, Bartłomiej Kontny, Bernard. Promotor