Obiekt

Tytuł: (100) GaAs surface treatment prior to contact metal deposition in AlGaAs/GaAs quantum cascade laser processing

Autor:

Papis, Ewa ; Barańska, Anna ; Karbownik, Piotr ; Szerling, Anna ; Wójcik-Jedlińska, Anna ; Bugajski, Maciej ; Rzodkiewicz, Witold ; Szade, Jacek ; Wawro, Andrzej

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Opis:

Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 4, s. 787-797

Abstrakt:

The effects of HCl-based chemical and Ar+ sputter etching treatment on (100) GaAs surface properties with the aim to develop the procedure of surface preparation before metal deposition have been investigated. Variable angle spectroscopic ellipsometry, X-ray photoelectron spectroscopy, atomic force microscopy and photoluminescence have been used to study the surface characterization. We show that combining chemical etching in 5% HCl with Ar+ sputter etching gives the best results for surface cleaning prior to metal deposition. The application of this two-step treatment allows to obtain Ni/AuGe/Ni/Au ohmic contact with rc = 2×10–6 Ωcm2 with excellent adhesion and long-term thermal stability.

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2009

Typ zasobu:

artykuł

Identyfikator zasobu:

oai:dbc.wroc.pl:62577

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009 ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 4 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

14 mar 2019

Data dodania obiektu:

14 mar 2019

Liczba wyświetleń treści obiektu:

92

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://dbc.wroc.pl./publication/111795

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Podobne

×

Cytowanie

Styl cytowania:

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji