Tytuł:

Evaluation of thin Ta(N) film integrity deposited on porous glasses

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Autor:

Shamiryan, Denis ; Baklanov, Mikhail R. ; Yanovitskaya, Zoya S. ; Zverev, Alexey V. ; Tõkei, Zsolt ; Iacopi, Francesca ; Maex, Karen

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Wilk, Ireneusz. Redakcja

Temat i słowa kluczowe:

optyka ; porous glasses ; low-k dielectric ; diffusion barrier ; ellipsometry

Opis:

Optica Applicata, Vol. 33, 2003, nr 1, s. 91-96

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2003

Typ zasobu:

artykuł

Format:

application/pdf

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 33, 2003 ; Optica Applicata, Vol. 33, 2003, nr 1 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska