Tytuł:

Evolution of microstructures on silicon induced by femtosecond laser with multiple pulses

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Autor:

Yuan, D.Q. ; Zhou, M. ; Lu, D.Q. ; Xu, J.T.

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Temat i słowa kluczowe:

optyka ; femtosecond laser ; evolvement ; ripples ; subthreshold ; silicon

Opis:

Optica Applicata, Vol. 41, 2011, Nr 3, s. 727-734

Abstrakt:

The effect of multiple pulses of Ti:sapphire femtosecond laser system on silicon wafer was investigated. Using the pulse energy exceed the threshold of silicon to investigate the evolvement of structures and found that exceed certain fluence no any periodic structure will appearance. For 1.91 J/cm2, the pattern of columnar structure was formed in the central region of irradiation area. In further experiment, using the subthreshold multiple pulse femtosecond laser irradiation of 0.91 J/cm2, the periodic ripple structures and nanohole array were presented in the whole irradiation area due to the incubation effection. Also, we obtained the threshold of nanohole array to be higher than that of the periodic ripple structures.

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2011

Typ zasobu:

artykuł

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 41, 2011 ; Optica Applicata, Vol. 41, 2011, Nr 3 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska