Effect of uniform stress on SiO2/Si interface in oxygen-implanted Si and SIMOX structures
Group publication title: Creator:Bryja, Leszek ; Kątcki, Jerzy ; Ratajczak, Jacek ; Misiuk, Andrzej
Contributor:Gaj, Miron. Redakcja ; Wilk, Ireneusz. Redakcja
Subject and Keywords: Description:Optica Applicata, Vol. 32, 2002, nr 3, s. 397-407
Publisher:Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
Place of publication: Date: Resource Type: Format: Source:<sygn. PWr A3481II> ; click here to follow the link ; click here to follow the link
Language: Relation:Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 32, 2002 ; Optica Applicata, Vol. 32, 2002, nr 3 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki
Rights:Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)
Access Rights:Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku
Location: