Tytuł:

The study of the good polishing method for polymer SU-8 waveguide

Tytuł publikacji grupowej:

Optica Applicata

Autor:

Ab-Rahman, Mohammad Syuhaimi ; Ab-Aziz, Fazlinda ; Mohd Arif, Noor Azie Azura ; Zan, Saiful Dzulkefly ; Mustaza, Seri Mastura ; Ehsan, Abang Anuar ; Shaari, Sahbudin

Współtwórca:

Gaj, Miron. Redakcja ; Urbańczyk, Wacław. Redakcja

Temat i słowa kluczowe:

optyka ; waveguides polishing ; SU-8 polymer ; rotational speed ; sandpaper ; silicon ; cut off length

Opis:

Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 3, s. 459-465

Abstrakt:

This research focused on polish characteristic of polymer based waveguides. The aim of the research was to show how polishing parameters affect the cut length of the end surface of SU-8 polymer on silicon and to detemine the best parameters for polishing SU-8 polymer. Then, four samples were used for characterizing the polishing of polymer. Each sample was polished with the same rotation and sandpaper size but with different rotational speed. The experiment result shows that the best rotational speed for polishing polymer SU-8 sample on silicon is 200 rpm.

Wydawca:

Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej

Miejsce wydania:

Wrocław

Data wydania:

2009

Typ zasobu:

artykuł

Źródło:

<sygn. PWr A3481II> ; kliknij tutaj, żeby przejść ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

eng

Powiązania:

Optica Applicata ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009 ; Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 3 ; Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki

Prawa:

Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)

Prawa dostępu:

Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku

Lokalizacja oryginału:

Politechnika Wrocławska